一、項目研制背景和意義

炸藥在空中爆炸時生成的空氣爆炸的峰值超壓和沖量是炸藥能量特性的一項重要參數(shù)，也是衡量彈藥特別是爆破及殺傷——爆破戰(zhàn)斗部損傷效果的一項重要指標，其準確測量具有重要的意義。爆轟物理試驗、炸藥和武器性能評價、意外爆炸災(zāi)害評估中的一個重要測試參數(shù)就是爆炸壓力。從20世紀50年代和60年代起，隨著武器的發(fā)展和太空時代的到來，就對可測量震動波、爆炸、火箭燃燒不穩(wěn)定性和彈道發(fā)射的高頻壓力傳感器提出了使用需求。本項目所研制的空中爆炸壓力傳感器主要用于爆炸中爆炸壓力的測量。國內(nèi)軍工單位，各類爆破公司1000余家，建筑、鐵路、公路工程公司大多都需要進行爆破威力測試和評估，市場需求量大，產(chǎn)品附加值高，開發(fā)爆炸壓力傳感器具有良好的經(jīng)濟效益和社會效益。

二、項目研制的主要內(nèi)容

1．產(chǎn)品要實現(xiàn)的主要技術(shù)要求：測量范圍：0～1000MPa；諧振頻率：≥500KHZ(隨機實驗)；上升時間：≤1.5μs(隨機實驗)；靈敏度：≥0.02mV/kPa(隨機實驗)；準確度：≤1.0%FS；工作溫度范圍：-25～+80℃

2．項目研制的主要內(nèi)容：產(chǎn)品主要用來測量爆炸的壓力，測量量程大，量程上限為1000MPa，不能采用應(yīng)變式的壓力計，需要改為壓阻式的傳感器。工作原理的改變，使得產(chǎn)品的開發(fā)從設(shè)計、結(jié)構(gòu)、工藝等方面均需進行研制。針對產(chǎn)品研制的技術(shù)指標，本產(chǎn)品的設(shè)計開發(fā)的重點是工藝的研究。

研究爆炸應(yīng)力效應(yīng)以及高靜水壓力，國內(nèi)外均采用錳銅絲或錳銅箔應(yīng)變計制成的傳感器，錳銅壓阻計是目前量程最高的壓力傳感器。錳銅合金是一種常用的精密電阻合金材料，它具有電阻溫度系數(shù)小、壓阻特性好的特點，它的電阻變化與爆炸壓力間呈線性關(guān)系，錳銅材料本身到125GPa都不發(fā)生相變，原則上可測量100GPa以上的壓力，所以，該項目研制采用錳銅壓阻傳感器來實現(xiàn)爆炸的測量。但錳銅的電阻率低，其壓力靈敏系數(shù)也僅為2.7%/GPa，要獲得0.02mV/kPa以上的靈敏度要求，必須在工藝上進行研究，提高產(chǎn)品的電阻值，盡量提高產(chǎn)品的應(yīng)變靈敏系數(shù)，減小溫度及其它環(huán)境條件對產(chǎn)品測量的影響。

三．項目研制方案、技術(shù)難度、解決途徑

1．關(guān)鍵技術(shù)：從原理上進行分析，本項目要解決的關(guān)鍵技術(shù)主要是：高量程（0～1000MPa）、高靈敏度（≥0.02mV/kPa）、高頻率（≥500KHZ）。傳感器的結(jié)構(gòu)尺寸要求小。

2．初步總體設(shè)計方案：從原理上，本項目采用錳銅壓阻傳感器來實現(xiàn)，即通過錳銅電阻的電阻率的變化來測量壓力變化。從設(shè)計上主要是材料、結(jié)構(gòu)和工藝三方面。

利用金屬的壓阻效應(yīng)測量壓力，對金屬材料一般要求其由壓力引起的電阻率的變化比由溫度引起的電阻率的變化大得多，從而使得由溫度引起的電阻率的變化可以忽略；為便于測量和分析，在動態(tài)壓力作用下，該材料不會出現(xiàn)相變；為了獲得大的靈敏度輸出，要求隨壓力的變化，電阻值的變化要大。錳銅精密電阻材料的溫度系數(shù)是2×10-5/℃，比一般導(dǎo)體的溫度系數(shù)5×10-3/℃小兩個數(shù)量級，而且在動態(tài)壓力下不會發(fā)生相變，是符合高量程要求的最為理想的材料。在一維壓縮情況下，錳銅的電阻率相對變化和電阻值相對變化都僅僅是壓力的函數(shù)，ΔR/R=KP，式中K是錳銅的壓阻系數(shù)，它與材料成分及傳感器有關(guān)。在恒流源供電的情況下，要獲得大的輸出靈敏度，就必須獲得大的電阻變化。

根據(jù)性能指標要求，要大于0.02mV/kPa，滿量程輸出要達到20V。用100mA的恒流源供電，電阻的變化值要達到200Ω。而錳銅的靈敏度系數(shù)僅為2.7%/GPa，在1000MPa的壓力下，電阻的變化值僅為2.7%，要獲得200Ω的變化值，錳銅電阻要達到7.4KΩ。錳銅壓阻傳感器一般為箔式和絲式兩種，而且電阻一般只幾十到幾百歐，要做到幾千歐是不可能的，也就是說，這兩種形式的錳銅壓阻傳感器無法達到要求的靈敏度。

本項目中將采用薄膜式錳銅壓阻傳感器來實現(xiàn)大的靈敏度。壓阻傳感器的感壓面積應(yīng)盡可能小，由于加工的難度，絲式和箔式的錳銅柵條電阻的大小就受到了限制，無法實現(xiàn)大的靈敏度輸出。而通過離子束濺射而成的薄膜電阻，加上光刻工藝，可以制造出幾百至幾千埃的薄膜電阻，在同樣的感壓面積上可以獲得較大的電阻值，在原理上可以實現(xiàn)大的靈敏度要求。通過這樣的方式設(shè)計，可以實現(xiàn)1000MPa的爆炸壓力的測量。

3．技術(shù)難度與解決途徑：針對各項技術(shù)指標，技術(shù)的難度主要在于工藝的實現(xiàn)與高頻響的設(shè)計。為實現(xiàn)產(chǎn)品的技術(shù)指標，在原理上，要重新根據(jù)尺寸要求與性能要求對柵條的位置與形狀進行設(shè)計，并確定光刻版圖；在工藝上，要重新試驗，確定鍍膜材料、鍍膜參數(shù)、鍍膜時間、光刻材料與參數(shù)；在結(jié)構(gòu)上，要結(jié)合薄膜性能與設(shè)計要求，對基底材料與厚度進行設(shè)計，從而獲得高頻響的傳感器。

爆炸壓力傳感器是用于動態(tài)測量，其彈性敏感元件的固有頻率是極重要的參數(shù)。在本項目中，選用SiO2材料作為彈性元件，SiO2材料絕緣性好，質(zhì)量較輕，但彈性模量與鋼相當，適合制作高頻率響應(yīng)的傳感器。經(jīng)理論計算，彈性元件尺寸為30×10×6mm時，完全能保證傳感器的頻率響應(yīng)高于500kHz。而且這個尺寸有利于工藝制作。

為了保證足夠大的靈敏度輸出，在柵條電阻的設(shè)計上，設(shè)計薄膜總長度為400mm，寬40μm，厚度為0.5μm。經(jīng)計算，設(shè)計的柵條電阻的阻值約10kΩ，能滿足靈敏度輸出要求。通過材料的選取與結(jié)構(gòu)尺寸、版圖的設(shè)計，理論上能保證錳銅薄膜壓阻傳感器能滿足預(yù)定設(shè)計要求。技術(shù)上的另一難點就是工藝上的實現(xiàn)。在工藝上，步驟與應(yīng)變式薄膜壓力傳感器基本類似。在所鍍功能薄膜上，選擇在高純度的SiO2彈性元件上直接沉淀錳銅薄膜，考慮到錳銅的易氧化性，將在錳銅膜上再沉淀SiO2保護膜，在其上噴涂絕緣保護層。在外引導(dǎo)線上，因結(jié)構(gòu)的緊湊，將采取大焊盤，再直接在膜層上外焊導(dǎo)線引出。

要獲得0.5μm厚度的錳銅薄膜，濺射的能量參數(shù)與濺鍍時間均必須經(jīng)過大量的工藝試驗進行確定。而且各種工藝過程參數(shù)將影響錳銅薄膜的粘附性能、溫度性能、穩(wěn)定性能、壓阻性能等，要獲得性能穩(wěn)定、一致的錳銅薄膜，制造性能可靠、重復(fù)性好的錳銅壓阻傳感器，是研制中的重點與難點。需要大量的工藝摸索。在薄膜壓力傳感器的技術(shù)基礎(chǔ)上，進行新工藝研究，從原理、材料、工藝過程參數(shù)、結(jié)構(gòu)等方面進行設(shè)計與試驗，應(yīng)該可以獲得性能優(yōu)良的錳銅壓阻傳感器。本文源自澤天傳感，版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請保留出處。